同样深信不疑,相信国国内能在芯片制造上,走出属于自己的道路。
成功建造出光刻工厂。
……
2017年1月20日。
周五。
距离除夕还剩一周时间。
今天上午,科学院充斥着严肃氛围,连院里的助理研究员都在脸上看不到笑容。
只有格外认真的神情。
在上次科学院紧急会议召开后,才仅仅过去半个月的时间。
便再次召开会议。
且参与人数,要远远超过上回。
这可以说还是从未见过的特殊情况。
足以证明眼下形式多紧迫。
在这种时候,紧张严肃才是主旋律,任谁也不会依旧笑容满面浑身轻松。
“赵哥,放轻松点。”
“没问题的。”
此刻科学院内的道路上,徐源拍了拍赵翔的肩膀两人一起朝大厅赶去。
因为两人比较熟络,私下里徐源都是以赵哥称呼。
而今天他们参加这场会议,主要任务便是报告关于稳态微聚束光刻工厂方案,这决定着此后续项目能否顺利的正常展开。
和上次紧急会议不同,这回提前进行了通知。
所以现场参加会议的人员数量,保守估计已经超过了上百人。
都是半导体相关领域内的院士资深教授。
赵翔虽也是正教授,但和徐源两院院士的身份相比还要差不少。
另外面对这么多院士教授作报告,赵翔心里面难免会有些紧张。
“希望等下能顺利吧。”
赵翔听到徐源的宽慰,暂时顿住脚步,深吸一口气说了这么句,然后才又继续迈动步伐。
既然确定要参加徐源的这个项目,尽最大努力争取把光刻工厂给打造出来。
那他肯定是希望能够成功。
若在报告现场,方案便直接被否定,无法通过。
心里面肯定会难以接受。
有种辜负了徐源的信任的感觉。
因此感到压力大,倒也属于正常情况。
徐源对大厅只能说再熟悉不过,从首次在里面参加新当选院士颁证仪式,到后面参加院里的会议,今天又要到台上报告。
肯定是轻车熟路。
完全没有什么好担心的。
不过他也对赵翔现在的心情表示理解,所以紧接着便又补充了句。
“放心吧,杨老也会参加上午的会议。”
是的。
碍于稳态微聚束光刻工厂的事,杨老也罕见的主动参加了今天的会议。
以他对稳态微聚束的信任和支持,方案肯定不会有什么问题。
这点他很有自信。
就这样没过多久,两人便顺利到达了大厅。
推开门走到里面,能看到已经有不少人到场,其中徐源还看到不少熟悉的身影。
其中便包括光电技术研究所的罗亚杰院士。
他们光电技术研究所,也要进行国产极紫外光刻机的研发工作,按照相关规定流程,今天也是要上台进行方案规划报告的。
简单来说就是拿出接下来研究的方向,以及目前正处于什么阶段。
明确之后院里起码能知道进度,好在人员和经费设备等问题上进行支持。
对此徐源也没有闲着,趁会议还没有开始,便带着赵翔朝罗亚杰等人走过去打起招呼。
也算顺便让赵翔放松下精神。
能够清楚看到,相比较上回见到罗亚杰,今天对方的脸色明显变得更加憔悴。显然这最近的半个月,没少为极紫外光刻机的事操心忧虑。
但这也是没有办法的事情,海外既然已经把招式给摆了出来,不积极去应对又怎么能行。
身为科研人员的骄傲还是有的。
也就在两人寒暄着的时候,只见房门再次被人从外面推开。
走进来的正是杨老,以及院长白新周,和另外几位负责人员。
“杨老好。”
大厅内的其他人,看到杨老居然也来了,惊喜之下连忙站起身打招呼。
脸上纷纷堆着笑容。
毕竟先不说杨老的年龄是场内最大的,单是在科学界的成就便值得其他人敬重。
……
伴随白新周和杨老入场,接着也没继续浪费时间。
立刻便宣布会议正式开始。
按照流程白新周简单讲了几句话后,便直接进入项目方案报告流程。
对此杨老并没有发表讲话,很明显是专门为了稳态微聚束光刻工厂来的。
最终由光电技术研究所的罗亚杰,率先上台进行相关的报告。
尽管罗亚杰给大家分享了一个好消息,说到他们研究所关于22纳米超分辨光刻装备,最近在技术上迎来了新的突破之后,顿时引起台下不少人热烈鼓掌。
但同时大家也都知道,就算攻克了22纳米光刻机制造技术,距离阿麦斯的7纳米极紫外光刻机,仍有着非常大的差距。
关键这中间的差距,实在让人看不到追赶甚至超越的希望。
之后另外两个进行光刻机研究的研究所,也上台进行了研究报告。
至于结果则和光电技术研究所方面差不多。
就算继续研究下去,除非出现奇迹,否则几年内想追赶上海外完全不可能。
时间一分一秒流逝。
院长白新周脸色也变得难看起来。
如果说刚对外宣布,要自主研发国产极紫外光刻机的时候,还非常意气风发斗志昂扬,那么此刻经过半个月的沉淀认知后,才真正感觉到那种巨大技术差距下面临的无力感。
不过很快白新周突然想到了什么,趁着其他人下去顿时把目光锁定了徐源。
下秒直接开门见山道:
“徐院士。”
“我记得你上次提到稳态微聚束,其光源能够用于EUV光刻。”
“现在有具体方案了吗?”
徐源听到自己的名字,这时候自然不会卖关子,当即便开口回答起来。
“是的院长。”
“这段时间我和验证了稳态微聚束的赵翔教授,顺利完成了关于光刻工厂的相关构想,我向院里申请尽快开始此项目。”
说完便和赵翔一起,两人配合着对已经完成的方案进行讲解。
在场所有人中,有人了解过稳态微聚束,有的人则是首次听到。
看见能让徐源这位两院院士如此重视,甚至还要求项目尽快立项实施,整个人的好奇心不由得被成功钩了出来。
纷纷集中注意力朝徐源望去。
而随着稳态微聚束光刻工厂的设想图,在大厅内屏幕上完全展示出来时,大家目光瞬间便被吸引住。
“传统的极紫外光刻机技术,大多数专利都掌握在阿麦斯手中,我们想要在这种情况下研究出,几乎是一件很难短期做到的事。”
“所以我在想有没有另辟蹊径的办法,能实现对高端芯片的制造。”
“最终稳态微聚束出现在了我的脑海。”
“理论上通过稳态微聚束光源,我们可以直接就建造出一座光刻工厂,利用不同波长的光源,去生产不同规格的芯片。”
“并且我相信未来国内,会是最大的半导体市场。”
“光刻工厂也符合我们的国情。”
……
徐源把大家的表情都看在眼里,不过并没有这时候去解释什么。
而是按照自己的节奏,对光刻工厂方案进行报告。
后面涉及到的相关理论技术等,则由赵翔配合顺利完成。
待把整个方案报告完毕后,整个大厅陷入到了短暂的沉默之中,随即反应过来台下顿时一阵骚乱。
大家都讨论着这个方案。
“把芯片制造问题变成了我们最擅长的基建,这绝对是一个天才般的构想。”
“我们确实不用必须延续海外的道路,谁说生产芯片就必须要有光刻机,建造这样的光刻工厂才适合我们。”
“这是一个全新的研究方向,应该一试。”
“如果光刻工厂真能实现的话,这对全球半导体行业都将是一场革命。”
“我现在都已经迫不及待,想要看到这座光刻工厂投入使用的样子了,十万个零件的极紫外光刻机我们有图纸也制造不出来,但却能建造比得上很多台光刻机的光刻工厂。”
“或许稳态微聚束光刻工厂,就是我们解决困境最大的转机。”
……
板了半天脸的白新周,此刻总算有了些笑容,对徐源和赵翔提出的光刻工厂方案同样很看好。
更何况以往只要徐源负责的项目,就还没有过失败的情况。
不过他并没有立刻进行举手决定,而是先侧过脸询问身旁杨老的看法。
“杨老。”
“关于稳态微聚束光刻工厂您怎么看?”
杨老本来就是为了这件事,终于到自己的环节,自然是有什么说什么。
“小徐和赵翔早就拿这个方案给我看了,虽然仍有些技术问题需要解决,但我认为还是非常可行的。”
……
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